我国IC行业高端清洗剂产业实现零的突破
--国内首批PPT级异丙醇投产成功
2005年11月1日,我国首批PPT(万亿分之一)级超高纯微电子化学品异丙醇(IPA)在江苏达诺
尔半导体超纯科技有限公司(DENOIR)投产成功,这标志着我国IC行业高端清洗剂产业实现了零的
突破。
DENOIR是一家中美合资高科技股份有限企业,坐落于江苏省氟化学高科技工业园,上海工业经
济发展辐射地带,地理位置十分优越。2004年底,该公司从美国引进最前沿的超高纯微电子化学品
生产技术,开始致力于半导体湿法工艺超高纯微电子化学品的研发、生产、销售和服务。
据DENOIR公司总裁曹传欣博士介绍,超高纯微电子化学品是新一代晶圆流片生产必需的配套清
洗剂,其体系中的金属离子含量会直接影响晶圆品质,国内IC企业所使用的PPT级超高纯化学品全部
依赖进口。DENOIR公司生产的PPT级超高纯微电子化学品工艺采用了多项专利,技术含量高,品质卓
越,为中国IC行业提供了一种新的选择。曹博士还表示,下一步DENOIR公司将陆续推出超高纯氨水
盐酸、氟化氢和硫酸等产品,向国内外IC行业提供符合国际标准的系列超纯化学品。
2005-11-1